（高精度（dù）恒溫恒濕潔淨空調,超高精（jīng）空調機）
佛山市佳以特冷熱設備有限（xiàn）公司從高精度、可靠性、節能性入手;研發生產出具有自主知（zhī）識（shí）產權(國家專（zhuān）利號：ZL.6)的高精度空調、高精度恒溫恒濕潔淨空調，提供穩定的溫度T±0.08℃（T=18-25℃），濕度RH±1％(RH=45-60%)的高精度空調;高精度冷水機組和溫度T±0.1℃(T=10-25℃)；超高精度空調（diào）產品、超高精度冷水機組及其係統的整體解決方案。
佛山市佳以特冷熱設備有限公（gōng）司開發了先進人（rén）工智能模糊控製（zhì）係統；高精度冷（lěng）、熱源平衡控製係統、高精度恒溫加濕係統，空氣潔淨過濾係（xì）統（tǒng）HEPA，均（jun1）取（qǔ）得國家專利保護。具有控製精度高，正常情況下能在設（shè）置溫度±0.1℃內的變化；從開機到溫度平衡穩定運行時間短；對空調進風溫度變化要求低(進風±2℃/H的情況下出風口溫度能控製（zhì）在±0.1℃/H內)，利用專利熱回（huí）收技術，對溫度進行調控，相比采用電加熱（rè）可控矽控（kòng）製（zhì）普通高精（jīng）度空調耗電（diàn）極底，確保高精度空調長期可靠穩定運行，機身采用304鏡麵不鏽鋼機殼滿足對室內高（gāo）級別潔淨度（dù）的需求。
佳以特高精度恒溫恒濕空調應用於光學傳感器製造與（yǔ）測試環境，金（jīn）屬納（nà）米級加（jiā）工環境（jìng）；高精密（mì）測量（liàng）；半導體光刻機，LDI曝光（guāng）、塗布等（děng）工藝環（huán）節；也可以用於：塗膠顯影機（jī），電子束曝光；液晶等離子麵板製造等各個行業領域（yù），佳以特冷熱設備有限公司為客（kè）戶量身定製，OEM服務。
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1、光刻機專用空調機
2、塗膠顯影專用空調機
3、LDI曝光機專用空調機
測試結果：溫濕度控製曲線（xiàn）照片（piàn）：
備注：綠色線為監控曲線（xiàn），紅色線為出風溫度曲線
備注（zhù）：綠色線（xiàn）為監控曲線，紅色線為出風溫（wēn）度曲線
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